Electrochemical characteristic of chemical-mechanical polishing of copper with oxide passive film

来源 :Transactions of Nonferrous Metals Society of China | 被引量 : 0次 | 上传用户：ZYXN

【摘要】

：

Electrochemical behavior of chemical-mechanical polishing of copper with oxide passive film was studied by electrochemical measurement technologies. Dependences

【作者】

：

何捍卫胡岳华周科朝熊翔黄伯云

【机构】

：

StateKeyLaboratoryforPowderMetallurgy,SchoolofResourcesProcessingandBioengineering

【出处】

：

Transactions of Nonferrous Metals Society of China

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

化学-机械研磨铜钝化膜电化学性能 CMP oxide passive film chemicalmechanical polishing electr

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Electrochemical behavior of chemical-mechanical polishing of copper with oxide passive film was studied by electrochemical measurement technologies. Dependences of polarization curves and electrochemical parameters, the rate of formation or removal of pas

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