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微立体光刻技术研究及应用
微立体光刻技术研究及应用
来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luckcarrier
【摘 要】
:
综述了国内外最近几年微立体光刻技术的研究进展。阐述了微立体光刻技术中的线扫描技术及面投影技术的基本原理及分类,分析了它们的技术核心并对相关参数进行了比较。简要阐述
【作 者】
:
于成龙
王秀峰
江红涛
单联娟
【机 构】
:
陕西科技大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
激光与光电子学进展
【发表日期】
:
2006年3期
【关键词】
:
微立体光刻
微制造
快速原型制造
微电子机械系统
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综述了国内外最近几年微立体光刻技术的研究进展。阐述了微立体光刻技术中的线扫描技术及面投影技术的基本原理及分类,分析了它们的技术核心并对相关参数进行了比较。简要阐述了微立体光刻技术在制造原型、微系统部件及微流体装置等方面的应用,最后,对该技术的发展前景作了展望。
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