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针对传统白光扫描干涉术在对一些垂直尺度较大器件的测试中，存在测量时间长、信号利用率低等问题，本文提出了应用于白光扫描干涉测量的变速扫描策略，并开发了基于预定义模式的变速扫描和基于自动对焦模式的变速扫描两种具体的实现方式。本文方法能够控制测量系统仅在有干涉条纹存在的空间区域采集图像，而在其它区域加速运行，从而提高了测试效率。测量过程中，通过编写的测量软件控制纳米测量机（NMM），并利用NMM的高精度定位能力实现变速扫描。实验测试了一个100μm台阶结构，相对传统固定步长扫描法，变速扫描在保持高精度的基础上提