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本文利用衰减全反射（ATR）技术研究了极薄金属膜（Ag和Al）以及极薄介质膜（ZnS和SiO2）的光学常数随膜厚的变化规律,并从等效洛伦兹振子原理和Maxwell-Garnett理论出发,得到了极薄金属膜的微结构参数,从而揭示了成膜过程中微结构变化与光学常数变化的关系。本文还分析了束缚态电子对金属膜光学常数的影响。