磁控溅射中溅射功率对TiO2薄膜质量影响的研究

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<正>一、引言薄膜的历史悠久,但人们开始利用薄膜作为生产力并掌握成熟的制备方法是在1835年,有人用化学湿法在眼镜片上淀积了一层薄膜用于保护镜片。而对薄膜机理的研究是在20世纪二十年代。在大1913年,米兰尔成功地发明了一种功率、寿命长、效率高的充气钨丝灯泡。但是当人们使用一段时间后发现,灯泡的内壁形成了一层不同名的薄膜,大大降低了照明效果。为了解决这个问题,科学家开始研究这种薄膜是
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