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为了生产钨钛合金阴极溅镀靶,日本钨公司研究了几种以粉末冶金为基础的加工方法,并且确认,运用它的工艺过程生产的靶具有高强度、高密度和极好的均匀性。钨钛靶在溅渡过程中不发生断裂或变形,并且能
日本开发钨钛合金溅镀靶
【摘 要】
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为了生产钨钛合金阴极溅镀靶,日本钨公司研究了几种以粉末冶金为基础的加工方法,并且确认,运用它的工艺过程生产的靶具有高强度、高密度和极好的均匀性。钨钛靶在溅渡过程中
【出 处】
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中国钨业
【发表日期】
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1991年5期
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