应用材料公司推出下一代电子束检测设备具有业内最高的分辨率

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【摘要】

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<正>应用材料公司日前宣布其下一代电子束检测系统已在多家领先的晶圆代工厂,以及逻辑芯片、DRAM和3D NAND工厂得到广泛应用。随着客户逐渐转向更先进的技术节点,这款新一代

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2016年08期

【关键词】

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应用材料公司电子束检测下一代分辨率

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<正>应用材料公司日前宣布其下一代电子束检测系统已在多家领先的晶圆代工厂,以及逻辑芯片、DRAM和3D NAND工厂得到广泛应用。随着客户逐渐转向更先进的技术节点,这款新一代电子束检测系统能够为其提供最高的分辨率和图像质量,同时保持最快的检测速度。应用材料公司新的PROVision^TM系统是目前业界最先进的电子束检测工具,结合了应用材料公司在电子束复查和测量领域长达20多年的领

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