【摘 要】
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高纯溴化氢在半导体、医药、新材料及先进装备制造等高精尖行业,正发挥着重要的作用,需求量逐年提高。与同系列的氯化氢气体相比,溴化氢气体具有更强的吸湿性、质子电离及腐
【机 构】
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绿菱电子材料（天津）有限公司,天津绿菱气体有限公司
【基金项目】
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2019年天津市重点研发计划科技支撑重点项目(19YFZCGX00050),集成电路工艺用材料生产应用示范平台(TC180A6MR)
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高纯溴化氢在半导体、医药、新材料及先进装备制造等高精尖行业,正发挥着重要的作用,需求量逐年提高。与同系列的氯化氢气体相比,溴化氢气体具有更强的吸湿性、质子电离及腐蚀性,因此高纯溴化氢的分离与纯化面临着重要技术挑战。针对溴化氢与水相互作用机理不清晰、物性数据与热力学性质缺失、溴化氢水合物结构不明确的问题,通过自主开发的实验平台,对溴化氢与水相互作用进行了一系列实验,初步得到了溴化氢与水的作用规律,补充了物性与热力学性质,并总结了不同溴化氢水合物结构及性质。所得结论将为国内高纯溴化氢气体的制备、纯化与应用提供
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