【摘 要】
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过去几年，微机电系统（Micro Electro Mechanical System，MEMS）备受关注，但是大多数集中于MEMS传感器应用，在可以预见的未来十年内，MEMS执行器即将大放异彩。其实，MEMS包含传感器和执
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过去几年，微机电系统（Micro Electro Mechanical System，MEMS）备受关注，但是大多数集中于MEMS传感器应用，在可以预见的未来十年内，MEMS执行器即将大放异彩。其实，MEMS包含传感器和执行器MEMS里面包含了传感器（sensor）和执行器（actuator），二者之间是互补的。简单地说，MEMS传感器实现的是机械能向电能的转换，而执行器实现的是电能向机械能的转换，它们共同实现了MEMS的双向操作。
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