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研制了取向可以自由调节的籽晶调向夹头,应用于激光晶轴定向仪,在炉外调整籽晶在夹头中的晶向,达到校准硅单晶生长晶向,提高了直拉无位错硅单晶的成品率和单晶的径向电阻率均匀度。
硅单晶生长晶向校准对成品率和径向电阻率均匀度的影响
【摘 要】
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研制了取向可以自由调节的籽晶调向夹头,应用于激光晶轴定向仪,在炉外调整籽晶在夹头中的晶向,达到校准硅单晶生长晶向,提高了直拉无位错硅单晶的成品率和单晶的径向电阻率均
【出 处】
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科技通报
【发表日期】
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1990年01期
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