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针对固体介质间隔层的镀膜标准具,以1 064 nm激光镀膜标准具为例,首先研究了反射膜堆数对反射带宽、基底厚度以及对自由光谱区的影响：标准具的带宽随着膜层堆数增加而减小,自由光谱区随着基板厚度的增加而减小;其次研究了基底误差对标准具中心波长定位和透过率的影响,通过定量数值计算证明了基底误差可通过标准具的使用角度补偿;针对典型的H（LH）m/Substrate/（HL）mH和L（LH）m/Substrate/（HL）mL两个膜系结构,研究了入射激光发散角对标准具中心波长偏移、通带半宽度、中心波长透过率和最大