激光低温沉积金刚石膜

来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nb08611033

【摘要】

：

用ＸｅＣｌ紫外与ＣＯ２红外复合激光化学气相沉积方法，在３４０℃硅衬底上沉积成高纯金刚石膜。 High-purity diamond films were deposited on Si substrate at 340 ℃ by using XeCl UV and CO

【作者】

：

冯钟潮张炳春赵岩王亚庆

【机构】

：

中国科学院金属研究所

【出处】

：

材料研究学报

【发表日期】

：

1996年05期

【关键词】

：

金刚石膜低温沉积化学气相沉积激光波长紫外激光激光功率密度沉积膜金刚石粉硅衬底反应室

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用ＸｅＣｌ紫外与ＣＯ２红外复合激光化学气相沉积方法，在３４０℃硅衬底上沉积成高纯金刚石膜。 High-purity diamond films were deposited on Si substrate at 340 ℃ by using XeCl UV and CO2 infrared laser combined chemical vapor deposition.

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