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对合成碳膜电位器修刻机的工作过程和原有控制系统进行了分析.应用基于IPC和Windows95的开放式体系结构数控系统对修刻机控制系统进行重新构建,改善了修刻机的可靠性.
开放式数控系统在合成碳膜电位器修刻机中的应用
【摘 要】
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对合成碳膜电位器修刻机的工作过程和原有控制系统进行了分析.应用基于IPC和Windows95的开放式体系结构数控系统对修刻机控制系统进行重新构建,改善了修刻机的可靠性.
【机 构】
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中国科学院电工研究所.北京,天津大学机械工程学院
【出 处】
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制造业自动化
【发表日期】
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2003年8期
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