【摘 要】
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用半导体理论讨论了金属铁电薄膜半导体（ＭＦＳ）结构的电容电压（ＣＶ）特性，其结果表明：在ｎ型Ｓｉ基片上，理想ＭＦＳ结构的ＣＶ曲线为逆时针回滞，有载流子注入的ＭＦＳ结构的ＣＶ曲线为顺时针回滞，这与实验结果是一致的．
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【机 构】
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湖北大学物理学与电子技术学院,湖北药检专科学校基础部
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用半导体理论讨论了金属铁电薄膜半导体（ＭＦＳ）结构的电容电压（ＣＶ）特性，其结果表明：在ｎ型Ｓｉ基片上，理想ＭＦＳ结构的ＣＶ曲线为逆时针回滞，有载流子注入的ＭＦＳ结构的ＣＶ曲线为顺时针回滞，这与实验结果是一致的．
The capacitance-voltage (CV) characteristics of metal ferroelectric thin film semiconductors (MFS) structures are discussed using semiconductor theory. The results show that the CV curve of the ideal MFS structure is counterclockwise hysteresis on an n-type Si substrate with carrier injection The CV curve of the MFS structure is clockwise hysteresis, which is consistent with the experimental results.
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