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尖晶石状LiMn2O4是制备高能量密度的锂离子电池的一种很有发展前景的阴极材料。评论了近年来制备薄膜阴极的方法，包括化学酸基溶解法、溶胶一凝胶法、激光焙烧法、增强型等离子体化学气相淀积法、脉冲激光法、电子柬喷射沉积法和射频磁控溅射法。着重分析了能够和IC、MEMS工艺良好集成的射频磁控溅射的方法，提出了工艺路线，并规划了下一步工作。