【摘 要】
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为揭示飞秒激光烧蚀金属的表面形貌特征及物理规律,实验上利用飞秒激光微加工系统对不同条件下金属铜和钛的烧蚀特性进行了理论和实验研究,应用扫描电子显微镜和X射线能量色
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（11274204）
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为揭示飞秒激光烧蚀金属的表面形貌特征及物理规律,实验上利用飞秒激光微加工系统对不同条件下金属铜和钛的烧蚀特性进行了理论和实验研究,应用扫描电子显微镜和X射线能量色散分析装置进行检测,以分析烧蚀区域的形貌特征及物质成分.基于激光脉冲能量时空上的高斯分布特征和能量累积效应,讨论了脉冲个数对周期性波纹结构产生的影响,理论和实验符合的很好.并对材料的去除机理进行分析,为实现材料的精细加工提供了重要的指导.
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