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金刚石单晶真空蒸镀铬的工业化应用
金刚石单晶真空蒸镀铬的工业化应用
来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:forsoother
【摘 要】
:
应用真空蒸镀处理技术,在金刚石单晶表面蒸镀金属铬层,并在真空高温条件下,部分铬与金刚石键合生成Cr7C3,有效地提高金刚石表面对金属粘结剂的粘结力.该蒸镀技术工艺简单、经
【作 者】
:
郑汉书
李优旺
郑用武
【机 构】
:
中国科学院广州电子技术研究所,广东,广州,510070
【出 处】
:
真空
【发表日期】
:
2006年6期
【关键词】
:
金刚石单晶
真空镀铬
粘结力
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应用真空蒸镀处理技术,在金刚石单晶表面蒸镀金属铬层,并在真空高温条件下,部分铬与金刚石键合生成Cr7C3,有效地提高金刚石表面对金属粘结剂的粘结力.该蒸镀技术工艺简单、经济,可以在工业化生产中应用.结果表明,经真空蒸镀处理后,金刚石制品的寿命提高了50%~100%.
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