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期刊论文
多芯片组装技术工艺与设计
多芯片组装技术工艺与设计
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Tianjun9
【摘 要】
:
主要论述了多芯片组装技术的设计及制造.提出目前我们发展微组装技术的主要工艺及设计技术.
【作 者】
:
曾毅
张茜梅
武蕊
【机 构】
:
中国工程物理研究院
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2002年10期
【关键词】
:
多芯片组装技术
制作工艺
封装
MCM
multi-chip-modules
design and fabrication technology
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主要论述了多芯片组装技术的设计及制造.提出目前我们发展微组装技术的主要工艺及设计技术.
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