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采用中频对靶磁控法在M2高速钢基片上合成了厚达6μm的含铬类金刚石碳（DLC）薄膜，初步考察了中频磁控溅射工艺参数、DLC薄膜的多层梯度结构及薄膜力学和摩擦性能间的关系。结果表明，薄膜表面平滑，具有致密的多层梯度结构，在2．45N载荷下维氏硬度为HV2560，结合力的临界载荷为52N，且在较长滑动距离内平均摩擦因数为0．09。