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热压硫化锌基底上类金刚石膜的设计与实现
热压硫化锌基底上类金刚石膜的设计与实现
来源 :光电技术应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bingdaogege
【摘 要】
:
讨论了在ZnS窗口和整流罩上实现DLC膜的方法,给出了膜系和实验结果.从测试结果可以看出。ZnS基片、Si膜和DLC膜在7-10μm的平均透过率比以往的双面减反射膜有了明显的提高,不仅
【作 者】
:
洪伟
赵友博
张铁群
隋承林
【机 构】
:
航天科工集团三院8358所,南开大学现代光学研究所,天津市道路桥梁管理处机械修理厂
【出 处】
:
光电技术应用
【发表日期】
:
2007年6期
【关键词】
:
硫化锌
类金刚石膜
化学气相沉积
热压
射频等离子放电法
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讨论了在ZnS窗口和整流罩上实现DLC膜的方法,给出了膜系和实验结果.从测试结果可以看出。ZnS基片、Si膜和DLC膜在7-10μm的平均透过率比以往的双面减反射膜有了明显的提高,不仅满足了技术指标的要求,而且也有利于DLC膜应用领域的进一步拓展.
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