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通过对半导体工艺冷却水系统和超纯水系统实际运行工况的研究，突破厂务运行技术的思维瓶颈，提出了工艺冷却水热能回用与超纯水系统热源需求的跨越式联系，在保证系统稳定的同时，大幅提高运行经济性。
半导体工艺冷却水热能回用
【摘 要】
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通过对半导体工艺冷却水系统和超纯水系统实际运行工况的研究，突破厂务运行技术的思维瓶颈，提出了工艺冷却水热能回用与超纯水系统热源需求的跨越式联系，在保证系统稳定的同时，大
【机 构】
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浚鑫科技股份有限公司
【出 处】
：
华东科技
【发表日期】
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2013年2期
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