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在相移干涉显微镜中增加了自动调焦系统,使其快速获取高清晰干涉图像,提高了三维形貌的测量速度和测量精度.调焦系统采用图像自动调焦方法,分别以图像标准差函数和图像最大熵函数作为粗调函数和精调函数.实验表明本系统自动调焦范围扩大到±150μm,自动调焦精度为±0.3μm,调焦时间为4-8s.
三维形貌测量中自动调焦系统的设计
【摘 要】
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在相移干涉显微镜中增加了自动调焦系统,使其快速获取高清晰干涉图像,提高了三维形貌的测量速度和测量精度.调焦系统采用图像自动调焦方法,分别以图像标准差函数和图像最大熵
【机 构】
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燕山大学,装甲兵工程学院控制工程系
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2004年3期
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