溶胶-凝胶法制备抗激光损伤SiO2疏水减反射膜

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guizhong1121
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通过溶胶-凝胶法,在碱性条件下水解缩聚正硅酸乙酯获得含有SiO2颗粒的溶胶;以甲基三乙氧基硅烷在酸性条件下水解缩聚获得双链聚合物溶液,作为疏水基团的引入剂.用两者的混合物在玻璃片上旋转镀膜.利用光子相干光谱法、透射电子显微镜、小角X射线散射等方法研究了溶胶微结构,利用紫外-可见光谱仪和接触角测定仪测量薄膜的透射率和疏水性.单面反射率最低降至0.01%,对水接触角最高为118°.利用Nd:YAG激光(1 064nm)测量了薄膜的激光损伤阈值,随混合溶胶中双链聚合物含量的增加损伤阈值减小,但均高于2
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