【摘 要】
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为确定体声波（BAW）梯形滤波器的阶数,使用仿真法研究了滤波器的带外抑制与并、串联薄膜体声波谐振器（FBAR）的电容比Cps和滤波器阶数N的关系。基于FBAR的Mason解析电路模型构建了1
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所,西南科技大学信息工程学院,中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（61574131）, 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目（2014ZA001）, 核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金资助项目（2016KF-02）
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为确定体声波（BAW）梯形滤波器的阶数,使用仿真法研究了滤波器的带外抑制与并、串联薄膜体声波谐振器（FBAR）的电容比Cps和滤波器阶数N的关系。基于FBAR的Mason解析电路模型构建了1-6阶BAW梯形滤波器,Cps取值为1-6,对1-6阶BAW梯形滤波器进行仿真,取滤波器的左带外抑制进行统计并绘制曲线图。此外,BAW梯形滤波器的阶数可包括半阶数,用同样仿真法改变阶数（N=1.5,…,5.5）对滤波器进行仿真。仿真结果表明,当Cps一定时,带外抑制基本随滤波器的阶数等量增加。当滤波器的阶数一定时,带外
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