高精度全息干涉计量——相移技术的应用

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本文介绍了一种精确的全息干涉相位测量系统。采用双曝光、双参考光束,并引入相移技术,能够同时获得全场256×256个点的相位变化值;相位测量的重复性优于2%,全场处理时间少于2分钟。
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