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摘要：为提高碳化硅非球面反射镜的加工质量，对加工中涉及的固着磨料工艺去除函数进行了研究。在早期的实验中测试了圆形丸片的去除函数，引入填充因子的概念来评价实验所获得的去除函数，定量获得了丸片结构与填充因子之间的关系。为了提高填充因子和磨盘的加工特性，根据圆形丸片的实验结果优化了磨头的结构并基于Matlab软件模拟了新型磨头的去除函数。在全口径范围考察了磨头工作的稳定性，并在相同加工参数条件下完成了固着磨料和散粒磨料的加工实验。为了对理论模拟和实验结果进行比较，引入结构相似度指数的概念来评价全口径反射镜去除量