【摘 要】
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在蓝宝石衬底上，用金属有机物气相沉积(MOCVD)法外延生长AlGaN／GaN异质结样品。溅射Ti／Al／Ni／Au和Ni／Au金属膜，在氮气气氛中高温快速退火，分别与样品形成欧姆接触和肖特基接触。随着
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在蓝宝石衬底上，用金属有机物气相沉积(MOCVD)法外延生长AlGaN／GaN异质结样品。溅射Ti／Al／Ni／Au和Ni／Au金属膜，在氮气气氛中高温快速退火，分别与样品形成欧姆接触和肖特基接触。随着退火时间的增加，金属一半导体金属(MSM)结构的I-V特性曲线保持良好的对称性，但C-V曲线逐渐失去其对称性。MSM探测器的紫外响应曲线具有良好的对比度和选择性，出现明显的光电导增益效应。
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