非晶硅中的缺陷态光吸收谱

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Eltonxin
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<正> 非晶硅薄膜的光学及电学性质与共电子局域态分布紧密相关。为了改进非晶硅薄膜器件的性质,如太阳能电池、薄膜晶体管等,需要低局域态密度的材料,因而测量并了解局域态的性质十分重要。局域态包括带尾态、缺陷态及亚稳缺陷态。本文着重讨论缺陷态及亚稳缺陷态。
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