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采用紫外线光刻技术在铝片上生成预设图案，用恒流二次氧化法在图案化的铝片上生长AAO，以此模板制备了PS和Cu纳米线阵列。采用扫描电子显微镜（SEM）分析。结果表明，制备的图案是直径5μm的圆形组成，圆形图案中心之间距离是10gm，每个圆中生长了均匀的AAO，孔径大约为60-80nm。
恒流法制备图案化的阳极氧化铝模板
【摘 要】
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采用紫外线光刻技术在铝片上生成预设图案，用恒流二次氧化法在图案化的铝片上生长AAO，以此模板制备了PS和Cu纳米线阵列。采用扫描电子显微镜（SEM）分析。结果表明，制备的图案是直径
【机 构】
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青岛大学高分子材料研究所
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2009年2期
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