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考察了λ=（620±10）nm栅滤光片的制备过程，分析了工艺参数对滤光片性能的影响．结果表明，除了蒸发速率、银层厚度、监控波长等工艺措施外，合适的基体温度是获得优良性能诱增透滤光片的重要因素．
基体温度对诱增透滤光片特性的影响
【摘 要】
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考察了λ=（620±10）nm栅滤光片的制备过程，分析了工艺参数对滤光片性能的影响．结果表明，除了蒸发速率、银层厚度、监控波长等工艺措施外，合适的基体温度是获得优良性能诱增透滤
【机 构】
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福建师范大学物理与光电信息科技学院
【出 处】
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福建师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2006年1期
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