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四硼酸锂晶体圆片的加工与表征
四硼酸锂晶体圆片的加工与表征
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haozi77805
【摘 要】
:
介绍了坩埚下降法生长的优质四硼酸锂晶体76mm标准圆片的加工工艺,讨论了LBO圆片的质量,研究表明,所得LBO圆片能够满足目前SAW器件制作的要求。
【作 者】
:
徐家跃
【机 构】
:
中国科学院上海硅酸盐研究所
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
1996年6期
【关键词】
:
四硼酸锂晶体
圆片
加工
声表面波
压电晶体
quartzcrystal
resonator
acousticloadsensitivity
surfaceso
【基金项目】
:
中科院“七五”院重大项目课题
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介绍了坩埚下降法生长的优质四硼酸锂晶体76mm标准圆片的加工工艺,讨论了LBO圆片的质量,研究表明,所得LBO圆片能够满足目前SAW器件制作的要求。
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