TCAD技术在微电子实验教学体系中的应用与研究

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针对传统微电子专业实验设备昂贵、实验周期长、效果不理想等缺点,提出了一种通过半导体工艺和器件的计算机辅助技术(TCAD)进行虚拟实验教学的方法。该方法速度快,可以在实验前后和过程中,直接观察材料和器件的形貌和内外参数,是对理论课程的实践和扩充。介绍了合理安排实验规划方案和解决实施中遇到问题的思路。
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