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使用KOH溶液对铸造多晶硅硅棒表面进行腐蚀,并用H2O2溶液进行氧化处理,研究了温度和KOH溶液浓度对硅棒的腐蚀程度以及不同温度的30％的H2O2溶液对腐蚀后的硅棒的氧化效果,并对其切割性能进行了研究.结果 表明,硅棒在65℃、质量浓度为20％的KOH溶液中腐蚀2 min后效果最好;腐蚀后的硅棒在55℃的30％的H2O2溶液中浸泡8 min后的表面氧化程度最高.使用腐蚀和氧化效果最好的溶液配比处理硅棒,在使用金刚线切片机切割后硅棒崩边比例下降了87％.