溶胶-凝胶旋涂法制备In-N共掺ZnO薄膜及其光学性能研究

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【摘要】

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ZnO是目前使用广泛的半导体材料,但本征ZnO存着在一定的缺陷,现通过溶胶-凝胶旋涂法分别以乙酸锌(Zn(CH3COO)2·2H2O)为锌源、硝酸铟(In(NO 3)3·H2O)为铟源、氯化铵

【作者】

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薄玉娇蔺冬雪王媛媛藏谷丹王玉新

【机构】

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辽宁师范大学物理与电子技术学院

【出处】

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大学物理实验

【发表日期】

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2021年1期

【关键词】

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溶胶-凝胶旋涂法 ZNO薄膜 In单掺ZnO In-N共掺ZnO 光学性能 sol-gel spin coating ZnO thin film In

【基金项目】

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辽宁省教育厅科学研究基金项目(LJ2019006)

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ZnO是目前使用广泛的半导体材料,但本征ZnO存着在一定的缺陷,现通过溶胶-凝胶旋涂法分别以乙酸锌(Zn(CH3COO)2·2H2O)为锌源、硝酸铟(In(NO 3)3·H2O)为铟源、氯化铵(NH4Cl)为氮源制备了In-N共掺的ZnO薄膜,由此来改善其相关性能。所制备样品的晶格结构、表面形貌、光学透过率及光学带隙分别通过X射线衍射仪(XRD),扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见分光光度计(UV-Vis)来进行表征和分析。结果表明:随着N掺杂量的增加,In-N共掺ZnO薄膜的结晶度

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