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本文在平行平板脉冲调制容性耦合射频放电装置中,采用光学发射谱线诊断的方法,研究了低气压(30 Pa～65 Pa)不同磁场强度条件下氩气(Ar)放电时产生等离子体过程中电子激发温度以及Ar离子的光谱线相对强度随气压、射频功率、调制频率、占空比和磁场强度大小的变化规律.
脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar+光谱特性研究
【摘 要】
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本文在平行平板脉冲调制容性耦合射频放电装置中,采用光学发射谱线诊断的方法,研究了低气压(30 Pa～65 Pa)不同磁场强度条件下氩气(Ar)放电时产生等离子体过程中电子激发温度以
【机 构】
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大连理工大学三束材料表面改性教育部重点实验室,辽宁大连,116024
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2012年2期
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