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压电石英基片在加工过程中会带来表面／亚表面损伤，这种损伤会直接影响电子器件的性能、稳定性及寿命。该文采用扫描电镜（SEM）观测与X-射线双晶回摆曲线检测化学腐蚀逐层剥离深度相结合的方法，定量分析了36°AT切压电石英基片亚表面损伤层厚度，并探讨了亚表面损伤层的形成原因及对器件性能的影响。
压电石英亚表面损伤层分析
【摘 要】
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压电石英基片在加工过程中会带来表面／亚表面损伤，这种损伤会直接影响电子器件的性能、稳定性及寿命。该文采用扫描电镜（SEM）观测与X-射线双晶回摆曲线检测化学腐蚀逐层剥离深度
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2008年2期
【基金项目】
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国防科工委共性基金资助项目(G030103010404GK0002)
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