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本文介绍了电光取样技术原理报道了砷化镓高速集成电路内部电信号在片直接电光取样测量系统，它的时间分辨率优于２０ｐｓ，空间分辨率优于３μｍ。通过对砷化镓共面波导的测量证实该系统可以对砷化镓高速集成电路内部电信号进行在片直接电光取样测量。更多还原
砷化镓高速集成电路内部电信号的光探针直接取样
【摘 要】
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本文介绍了电光取样技术原理报道了砷化镓高速集成电路内部电信号在片直接电光取样测量系统，它的时间分辨率优于２０ｐｓ，空间分辨率优于３μｍ。通过对砷化镓共面波导的测量证实该系统可以
【机 构】
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吉林大学电子工程系,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1994年5期
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