【摘 要】
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<正> 600KeV高能量离子注入机是一台大型的真空设备(图1,外型尺寸为10米×8 米×8米)。全部真空管路长为1724cm,真空容积为760升。在这样由几十个真空元件连接而成的庞大的真
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<正> 600KeV高能量离子注入机是一台大型的真空设备(图1,外型尺寸为10米×8 米×8米)。全部真空管路长为1724cm,真空容积为760升。在这样由几十个真空元件连接而成的庞大的真空系统里装有上千个形状各异、材料不同的束流元件,形成了近20万厘米~2的放气表面积,再加上多处的橡胶密封和大量焊缝以及离子源的进气,使整个系统形成了一个动态真空,因而给真空系统的设计提出了很高的要求。
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