【摘 要】
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辅助设备采集到的超精密加工设备姿态数据的准确性会影响后期轨迹跟踪精度。结合大数据分析，设计一种激光辅助超精密加工轨迹跟踪方法。该方法利用大数据分析技术中的采集技术，结合激光传感器，采集机械臂加工末端姿态大数据，并利用大数据分析技术当中的预处理技术实施预处理，包括精简、去噪以及补点。计算实际加工轨迹与预期加工轨迹之间的误差，通过误差大数据实时调整实时加工轨迹，让其向预期加工轨迹靠拢，减少误差累积，以
【基金项目】
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江西省教育厅科学技术研究项目（No.GJJ191170）；
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辅助设备采集到的超精密加工设备姿态数据的准确性会影响后期轨迹跟踪精度。结合大数据分析，设计一种激光辅助超精密加工轨迹跟踪方法。该方法利用大数据分析技术中的采集技术，结合激光传感器，采集机械臂加工末端姿态大数据，并利用大数据分析技术当中的预处理技术实施预处理，包括精简、去噪以及补点。计算实际加工轨迹与预期加工轨迹之间的误差，通过误差大数据实时调整实时加工轨迹，让其向预期加工轨迹靠拢，减少误差累积，以达到提高轨迹跟踪精度的目的。结果表明：所研究方法应用下，激光辅助超精密实际加工轨迹与预期加工轨迹之间的平均误差均小于0.1 mm,达到超精密加工标准，说明所研究方法的加工轨迹跟踪精度提高，在一定程度上改善了超精密加工工艺。
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