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提出了一种反散射计算的简单、快速方法,用于用光纤半圆阵列的光散射技术测量准二维工件表面的粗糙度参数。这些参数包括高度特性参数 R_a、间距特性参数λ_a 和混合参数△_a。我们的研究证明了上述测量方法的正确性。因而,这种测量方法可用于测量工件表面粗糙度参数仪器的设计。
用光纤半圆阵列测量准二维工件表面粗糙度参数的仿真研究
【摘 要】
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提出了一种反散射计算的简单、快速方法,用于用光纤半圆阵列的光散射技术测量准二维工件表面的粗糙度参数。这些参数包括高度特性参数 R_a、间距特性参数λ_a 和混合参数△_a
【机 构】
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西北工业大学,西北工业大学副教授,硕士
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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1990年6期
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