【摘 要】
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在过去的15～20年中,光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化.以前,一般的镀膜机都是纯人工操作,最先进的也只是半自动控制,都必须依靠高水平的操作人员来保证镀膜产品的一致性.
【机 构】
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美国丹顿真空设备有限公司北京代表处,北京市宣武门外大街6号,庄胜广场办公楼第一座908,北京,100052
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在过去的15～20年中,光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化.以前,一般的镀膜机都是纯人工操作,最先进的也只是半自动控制,都必须依靠高水平的操作人员来保证镀膜产品的一致性.而现在,高质量的光学镀膜机已经是一个集成了系列智能化模块(子系统)的全自动系统.这些智能模块(子系统)通常在多个微处理器的指令下结成局域网(LAN),而局域网又可并入整个工厂的自控系统.用户对设备性能的完善性要求越来越高,现在我们经常见到用户在购买镀膜机的同时,还要求厂家提供相关工艺技术.本文探讨的是当今光学镀膜系统中可采用的子系统及部件,以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面所起的决定性作用.尽管其他技术日渐流行,但鉴于物理蒸镀依然是目前适用性最强、应用最广泛的手段,因此本文中的讨论只涉及物理蒸镀技术.
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