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采用融熔法制备球冠形的光致抗蚀剂掩膜，用离子束刻蚀实现球冠形向硅片上转移，有效地在较低衬底温度下（低于２００℃）制备出了硅微透镜阵列。通过扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和表面探针实验证实了微透镜为球冠形。
硅微透镜阵列
【摘 要】
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采用融熔法制备球冠形的光致抗蚀剂掩膜，用离子束刻蚀实现球冠形向硅片上转移，有效地在较低衬底温度下（低于２００℃）制备出了硅微透镜阵列。通过扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和表面探针实验证实了微
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1996年02期
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