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酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂溶解抑制机理
酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂溶解抑制机理
来源 :感光科学与光化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hopkings
【摘 要】
:
本文综述了酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂的溶解抑制机理,主要包括(1)分子间氢键作用机理;(2)偶联反应机理;(3)两步即静态、动态溶解抑制机理;(4)表面沉积溶解抑制机理;(5)酚醛树脂的分
【作 者】
:
高英新
包永忠
黄志明
翁志学
【机 构】
:
浙江大学高分子工程研究所
【出 处】
:
感光科学与光化学
【发表日期】
:
2004年1期
【关键词】
:
酚醛树脂
重氮萘醌
正性抗蚀剂
溶解抑制
novolak
diazonaphthoquinone
positive photoresist
dissolu
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本文综述了酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂的溶解抑制机理,主要包括(1)分子间氢键作用机理;(2)偶联反应机理;(3)两步即静态、动态溶解抑制机理;(4)表面沉积溶解抑制机理;(5)酚醛树脂的分子溶解及相关的抑制机理.
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