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利用直流磁控溅射方法和提拉法制备了自支撑Zr／C8H8复合滤光膜和C8H8滤光膜。用同步辐射光源测量了滤光膜对软X射线的透射率，用俄歇电子能谱分析了膜中的元素含量。结果表明，虽然C8H8薄膜的加入在一定程度上降低了Zr滤光膜在软X射线波段的透射率，但较好地阻止了存储和使用过程中氧、氮等杂质对Zr金属膜的入侵，有效地改善了滤光膜的环境稳定性；同时很好地改善了Zr滤光膜的力学性能和表面面形，使制备的成品率提高了20％。