【摘 要】
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为改善工业纯铁的耐磨抗腐蚀性能,本文采用低偏压高频等离子浸没离子注入及氮化技术（HLPⅢ）对工业纯铁进行表面改性,然后利用非平衡磁控溅射技术（UBMS）在低压高频等离子浸没离子
【机 构】
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西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室,贵州航天精工制造有限公司,表面物理与化学国家重点实验室
【基金项目】
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表面物理与化学国家重点实验室基金(SPC200701);教育部新世纪人才计划(NCET-06-0800);四川省杰出青年学科带头人培养资助计划(06ZQ026-015)资助
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为改善工业纯铁的耐磨抗腐蚀性能,本文采用低偏压高频等离子浸没离子注入及氮化技术（HLPⅢ）对工业纯铁进行表面改性,然后利用非平衡磁控溅射技术（UBMS）在低压高频等离子浸没离子注入及氮化处理样品表面制备Ti/TiN多层膜。研究发现,工业纯铁在3.5kV脉冲电压（频率15.15kHz,占空比25%）下等离子注入及氮化3h后,表面形成了深度达4μm的氮化层,其相结构以ε-Fe3N和γ-Fe4N结构为主。等离子氮化及Ti/TiN多层薄膜沉积复合处理后,工业纯铁的硬度、耐磨损性能以及抗腐蚀性能均得到大大提高,等离
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