VDMOSFET的Tox与特征导通电阻RonA的关系

来源 :辽宁大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:hopemaoelgin
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介绍了功率VDMOSFET导通电阻的模型,重点讨论了栅SiO2厚度Tox对特征导通电阻RonA的影响,经过大量的理论计算,给出了击穿电压为20 V时VDMOSFET的Tox与RonA的关系曲线.首次提出最佳单胞尺寸与Tox有关.
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