微小电容检测技术在重力敏感器中的应用研究

来源 :中国惯性技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:focus2316acn
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对几种微小电容检测的方法进行了探讨,详细地阐述了交流电桥法微小电容检测的原理,分析了测量误差和相应的解决方法,为重力敏感器中的微小电容检测技术的实现奠定了基础。
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