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本文阐述了光刻光束线中的快门光栅系统的基本结构和工作原理,并介绍了光电转换中的一种新方法——高阻法,该方法在快速弱光信号的检测中具有实际意义。
光刻光束线快门实验系统及其快速光电转换
【摘 要】
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本文阐述了光刻光束线中的快门光栅系统的基本结构和工作原理,并介绍了光电转换中的一种新方法——高阻法,该方法在快速弱光信号的检测中具有实际意义。
【机 构】
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中国科学技术大学,中国科学技术大学
【出 处】
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电子测量技术
【发表日期】
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1993年2期
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