【摘 要】
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一、前言 七十年代初,离子镀膜作为一种替代电镀的方法,具有无公害的特点,曾经受到人们极大的关注,但由于工艺问题,没有得到实际的应用。到七十年代中叶,由于高频溅射、多阴
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一、前言 七十年代初,离子镀膜作为一种替代电镀的方法,具有无公害的特点,曾经受到人们极大的关注,但由于工艺问题,没有得到实际的应用。到七十年代中叶,由于高频溅射、多阴极溅射及HCD等技术的发展,开
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