【摘 要】
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基于多层硅表面微加工技术，设计并制造了一种全新的微镜结构，它由底电极层、支撑层和镜面层构成．支撑层采用对称布置的双T型梁结构，能提供垂直方向的平动和绕两水平轴的转动，从而
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基于多层硅表面微加工技术，设计并制造了一种全新的微镜结构，它由底电极层、支撑层和镜面层构成．支撑层采用对称布置的双T型梁结构，能提供垂直方向的平动和绕两水平轴的转动，从而实现微镜对入射光的强度调制和相位调制功能．测试结果表明，微镜能获得最大2pm的平动范围，同时其绕两水平轴的转动角度分别为±2．3°和±1．45°．此外，通过进一步增大牺牲层的厚度，可以很容易地使微镜获得更大的变形范围．
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